应用说明

CORESIC® 碳化硅陶瓷材料的优良力学性能，如高强度、高硬度、高弹性模量等，特别适合用于光电照明外延片制造中的ICP刻蚀工艺, PVD工艺，RTP工艺，CMP工艺用载盘等精密陶瓷结构件。

应用场景

LED外延片

LED外延片

LED

LED