应用说明

CORESIC® RBS H/RBE H/RBP H碳化硅陶瓷是使用高纯碳化硅原料经5N高纯多晶硅料于高温下渗透所制造的高强度反应烧结碳化硅陶瓷部件，主要应用于太阳能电池片的热制程和镀膜制程中。其致密度高，具高强度、高热导率、抗氧化性强、耐强酸腐蚀以及耐高温的优异性能，即便在1300℃的工作环境下重复使用中也不会变形，有助于提高扩散工艺、氧化退火工艺、LPCVD工艺、PECVD工艺的产品质量和制造效率。

应用场景

扩散炉

扩散炉

太阳能电池

太阳能电池