性能优势

• 耐电浆冲击性；
• 良好的导热性，产品具有优异的温度均匀性；
• 良好的抗热震性能，可快速升降温。

规格型号

典型应用

LED芯片制造中的PVD（Physical Vapor Deposition）,即物理气相沉积工艺，适合北方华创、应用材料等机台。