产品介绍
碳化硅卧式炉管
三责新材碳化硅炉管,采用喷雾造粒碳化硅粉体,经3D打印工艺成型和反应烧结而成。再经喷砂处理后,按照图纸要求进行精加工,表面进行CVD碳化硅涂层,以满足使用要求。
性能优势
- 超高纯度,基材杂质含量<300PPM,CVD碳化硅涂层后表面杂质含量小于5PPM;
- 最高使用温度可达1300℃;
- 低热膨胀;
- 极强的耐磨性;
规格型号
可根据客户图纸制作
典型应用
通常用于半导体氧化扩散炉,LPCVD和退火炉等设备。
关键词:
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