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长晶用TaC涂层导流环
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产品介绍

长晶用碳化钽涂层

三责新材长晶用碳化钽涂层，采用特种高纯等静压石墨，进行精密加工、高温纯化和化学气相沉积制备而成。按照图纸要求进行尺寸、平面度、粗糙度等进行精加工以及沉积工艺的结合，以满足使用要求。
 

性能优势

  • 极高纯度: 杂质含量极低，杂质总含量＜5ppm；
  • 优异的沉积均匀性: 涂层厚度差异＜10%，确保一致性；
  • 高温稳定性: 在高温条件下，涂层仍能保持机械强度和尺寸稳定性；
  • 卓越导热性: 涂层能够均匀迅速地传递热量，维持优异的温场均匀性；
  • 全面耐腐蚀能力: 对多种化学物质具有卓越的耐腐蚀性，适应严苛的服役环境。
     

 

规格型号

通常规格为4 吋、6吋长晶炉设备部件；

 

典型应用

SiC 单晶的长晶过程，适合中电科 48 所、晶盛机电、华创、纳设智能等机台；

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